Frankrijk – Elektronische, elektromechanische en elektrotechnische benodigdheden – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Voor zijn onderzoekactiviteiten gericht op de ontwikkeling van FD-SOI 10 nm technologieën en verder, wil het CEA-LETI een meetinstrument voor dunne laagten aankopen dat compatibel is met wafers van 200 mm en 300 mm en bruikbaar is in een reinruimte klasse 100. Het toestel moet spectroscopische ellipsometrie- en reflectometiefuncties integreren. Het moet nauwkeurige en reproduceerbare metingen van de dikte en optische eigenschappen van eenvoudige of gestapelde lagen garanderen. De doeltechnologieën omvatten onder andere SOI, high-k materialen, GaN, SiC en III-V. De geplande aanbesteding omvat: - een vaste tranche die overeenkomt met de basisuitrusting, - een optionele tranche nr. 1 betreffende de levering van OCD en de informaticaomgeving (OCD-module). De volgende opties met optionele prijsopgave zijn opgenomen in de aanbesteding: o OPT1: Opleiding tot 1e niveau onderhoud o OPT2: Opleiding tot geavanceerd onderhoud o OPT3: Levering van een elektrische transformator o OPT4: Levering van een warmtewisselaar/koelers o OPT5: Verlenging van de garantie met een extra jaar o OPT6: De prijs van de transport, inclusief verzekering, volgens de voorwaarden DAP CEA Grenoble (Conventie Incoterms ICC 2020).