Tyskland – Diverse allmänna maskiner och specialmaskiner – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Modular, helt automatiserad provstation för optisk inspektion och elektrisk kontakt av elektroniska, fotoniska och mikromekaniska enheter — inklusive avancerade tillverkningsmetoder såsom quasi-monolitisk integration. Systemet hanterar 200 mm-wafer samt ramar, band, lådor och jämförbara substrat. Ett sluten bärarhanteringssystem laddar bäraren med monterade substrat från specialkassetter, positionerar dem på provstationens vakuumklämma och utför helt automatisk justering. Ett testkort/probkortgränssnitt erbjuds för elektrisk anslutning. Provdetektion och finjustering utförs automatiskt för att säkerställa reproducerbara kontaktförhållanden. Kontrollprogrammet stöder programmerbar sekvenskontroll och referenspunktsbaserad justering. För optisk inspektion erbjuder systemet ett rörligt mekaniskt gränssnitt för att acceptera modulära, kundfurnerade optiska inspektionsmoduler (t.ex. mikroskop med kamera) med lateral och vertikal justering. Det utrymme ovanför p