Tyskland – Diverse specialmaskiner – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Objektet för inköpet är att uppgradera ett befintligt 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-system från tillverkaren Applied Materials Inc. (AMAT) till en WxZ Sprint-konfiguration. Detta omfattar bland annat anpassningar av gasfördelningssystemet för att möjliggöra en pulserande Wolfram-avsättningsprocess, samt integration av ytterligare hårdvara för att möjliggöra avsättningstryck upp till 300 Torr. Tjänsterna omfattar planering, leverans, integration, installation och kvalificering av de nödvändiga hård- och mjukvaruändringarna i det befintliga anläggningssystemet.