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Deutschland – Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke – FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikDeutschlandVeröffentlicht am 13. Sept. 2026
Keine Frist angegeben
DeutschlandBeschreibung
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
CPV-Codes
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Unterlagen & Angebotsabgabe
KI-Zusammenfassung
Anmelden für KI-ZusammenfassungContains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.
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