Germany – Special-purpose electrical goods – Upgrade Nanoprober IMINA mi-BOT

Das Fraunhofer IMWS betreibt seit 2014 ein 8-fach Probershuttle der Firma IMINA Technologies, ausgestattet mit sechs piezogetriebenen Nano mi-BOT Micromanipulatoren der ersten Generation. Auf Basis dieser bestehenden Systemplattform wurde durch IMINA Technologies mit der Version Nano+ eine leistungssteigernde Weiterentwicklung realisiert, insbesondere zur Erweiterung des z-Hubs. Aufgrund der modularen Systemarchitektur kann diese Weiterentwicklung als gezieltes Upgrade umgesetzt werden. Hierfür werden die Micromanipulatoren sowie die zugehörige Steuerung inklusive ausgewählter Verkabelung auf den aktuellen technischen Stand gebracht. Dies ist erforderlich, da die erweiterten Leistungsparameter der Nano+ Version mit höheren internen Spannungen einhergehen. Die bestehende Infrastruktur – insbesondere die in der Proberplattform integrierten EBIC/EBAC Stromverstärker sowie die Schaltmatrix der point electronic GmbH – bleibt vollständig erhalten und wird weiterhin genutzt.